当社の事業

当社の事業についてご説明いたします。ナノ寸法に局在する近接場光を利用することで、従来の伝搬光やプラズモニクスだけでは説明不可能な新しい応用が広がってきています。代表的な応用技術を下記に紹介します。

近接場光研磨

近接場光によって従来誘起できなかった光化学反応を活性化することが可能となります。この近接場光特有の光化学反応を利用した技術が、表面研磨技術です。従来の機械研磨手法とは異なり、非接触で加工が可能となるため、被研磨物質への損傷がなく、また機械研磨では到達不可能な原子オーダーでの表面平滑化が可能となります。また、非接触手法であるため、立体構造の側面や内部の平滑化が可能となります。
　これまでに、NEDO「エネルギー使用合理化技術戦略的開発」、「省エネルギー革新技術開発事業」を通して得られた成果を基に、経産省「平成22年度希少金属利用産業等高度化推進費補助金（レアアース等利用産業等設備導入事業）」により、研磨装置のプロト機を作製し、実用化研究を行っています。

研磨適用例

金属金型・電極
半導体基板・発光ダイオード・太陽電池・MEMS
光学素子ミラー・レンズ・回折格子・水晶・ダイヤモンド
記録メディアハードディスク・光ディスク

保有特許

特許第5721455号基板の平坦化方法
特許第5770646号透過性機材の表面平坦化方法
特許第5840958号ガラスディスクの表面平坦化方法
特許第6274717号近接場光を用いたエッチング方法
特許第6291285号表面平坦化方法及び表面平坦化システム
特許第6560510号表面平坦化方法
特許第6961201号表面平坦化方法及び微細構造体の製造方法